半導体用語集
積算形電気移動度分析器 EAA
英語表記:integral mobility analyzer electrical aerosol analyzer
サブミクロン粒子に電荷を与え、荷電粒子の電気移動粒子のストークス径と荷電量とに依存することを利用した分級及び測定器。積分形は静電場を与えた二重円筒管の内筒に捕集されなかった粒子をすべて検出器に導く方式のものである。
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