半導体用語集
アウトガス
英語表記：outgassing
材料からのガス放出。クリーンルーム建材、各種製造装置には多種多様な材料が使用されており、材料によっては、アンモニアなどの無機性ガス、DOPなどの有機性ガスを、長期にわたり放出し、ウェーハプロセスに悪影響を及ぼすものがある。このため、使用材料の十分な吟味が必要となる。
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真空環境におけるアウトガス分析
株式会社住化分析センター
『真空環境下で材料から発生するアウトガスを定性・定量』
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