半導体用語集
防塵靴
英語表記：clean room shoes
作業者の脚部からの発塵を抑えるためのクリーンルーム用作業靴。クリーンスーツと同様に低発塵導電性の布地と靴底より作られており、通常、膝下までカバーする。最近、アウトガス問題を考慮し、靴底材質の改良が進められている。
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