半導体用語集
硫酸再生装置
英語表記：sulfuric acid reprocessor
洗浄・剥離などの工程で使用された硫酸・過酸化水素水の混合廃液を蒸留し、硫酸のみを回収精製する装置。回収された精製硫酸はウエットプロセスに再利用される。常圧蒸留法と減圧蒸留法がある。
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