半導体用語集

MSDS

英語表記：material safety

化学物質の物性、毒性、可燃性、反応性、取扱方法などを記入した安全性データシート。ガスや薬品を使用する処理装置に操作時の安全を確保する目的で取扱説明書などと一緒に添付することが推奨されている。


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