半導体用語集
ライフタイム測定器
英語表記：lifetime measurement system
半導体試料中に注入または生成された少数キャリヤが再結合などにより、初期のキャリヤ濃度が1/eに減衰するまでの時間を測定する装置。測定方法には光導電減衰法、μ波検出光減衰法、SPV法（交流光電圧）、容量・時間法などがある。
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