半導体用語集
常圧熱酸化装置
英語表記：atmospheric thermal oxidation furnace
熱酸化膜の形成を1気圧（常圧）付近で行う装置。酸化の方法にはドライ酸化（乾燥酸素中の酸化）、ウェット酸化（水蒸気酸化）、水素燃焼酸化などがある。反応管及びヒータの配置方法により横型常圧熱酸化装置、縦型常圧熱酸化装置に分けられる。
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