半導体用語集
分解式排ガス処理装置
英語表記：exhaust gas abatement equipment by decomposition process
半導体製造装置などから排出される有害ガスを、熱分解あるいはプラズマ分解させることによって無害化する装置。現状では、プラズマ分解式は有害ガスを許容濃度以下にまで無害化できないという問題点を有する。
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