半導体用語集
FPD GFLD GF3D
英語表記：focal plane deviation gloval front least-squares deviation gloval front three points deviation
吸着固定などにより、ウェーハ裏面を平面に矯正した状態にて、指定されたグローバル全面基準
面でのFQA内のウェーハ表面での最大距離。
SEMIでは、より詳細に定義しておりベストフィット基準面におけるFPDをGFLD、3点基準面におけるFPDをGF3Dと呼ぶ。
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