COO（cost of ownership） | 半導体用語集 |半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

英語表記：cost of ownership

半導体製造に関する設備投資や運営の経済性の評価基準を経営レベルでモデル化したもの。製造装置のライフサイクルコストを装置価格、生産性と信頼性歩留まりなどを考慮してウェーハ良品当りのコストを算出する方法である。