半導体用語集
コールドエバポレータ
英語表記：cold evaporator
N2、O2などの液化ガスを低温加圧の状態で大量に貯蔵し、消費量に応じて一定圧力で自動供給を行う装置。液化ガス蒸発器、圧力調整器、極低温バルブ、保全用安全装置からなる。
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