半導体用語集
ゲッタリング
英語表記：gettering
素子特性に有害な影響を与える不純物、重金属または欠陥に関与している点欠陥などを除去する作用。この作用により、ウェーハ表面の素子形成領域を素子形成時に清浄化し無欠陥化され、素子特性や素子製造歩留りが向上する。
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