半導体用語集
ケミカルエアフィルタ ガス除去用エアフィルタ
英語表記：chemical air filter
空気中のガス状汚染物を除去することを目的としたフィルタ。外気取入れ用、排気処理用で各々特色のある吸着剤が用いられ、近年着目されているクリーンルーム循環空気用フィルタでは、有機性ガスの吸着に活性炭が、無機性ガスにはイオン交換繊維、賦活活性炭などが主として用いられている。またゼオライト系を主体とする不燃性フィルタも開発されている。
これらは物理吸着や化学吸着を原理とするため、吸着量には限界があり、吸着率が低下して破過に至る。またガス状汚染物がフィルタを通過する際、ブラウン運動で未反応吸着基に捕捉、あるいは表面拡散後捕捉される必要があるため、その吸着効率は、通過風速などにより影響を受ける。そのため、ケミカルエアフィルタの設計指針あるいは性能評価として、破過曲線やSV値（時間処理風量/反応剤容量）が用いられる。
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