半導体用語集
熱拡散装置
英語表記：thermal diffusion furnace
温度とガス流量を制御することによりｐ型、ｎ型の不純物をウェーハ中に熱拡散するための装置。反応管及びヒータの配置方法により横型熱拡散装置、縦型熱拡散装置に分けられる。
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