半導体用語集
フロートポリシング
英語表記：float polishing
加工槽の中へ研磨液を加工物表面が隠れる程度入れ、溝を設けた定盤と加工物を高速回転させると、両者の間に入った研磨液の動圧流体潤滑に依り、加工物が定盤と接触せず浮上した状態で研磨が進行する方法。
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