半導体用語集

ウェーハフレーム ウェーハリング

英語表記:wafer frame

ウェーハをウェーハテープに貼り、そのテープを貼りつけウェーハを保持する枠。エキスパンドした後ウェーハフレームをつける場合と、エキスパンドせずにウェーハフレームにつける場合がある。


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