半導体用語集

レシピ

英語表記：recipe

ウエーハプロセス処理の制御を行うために、各プロセス装置へのプロセスシーケンス及び制御パラメータ（温度、圧力、ガスの種類及びガス流量、時間などの制御目標値）に関する装置個別の処理プログラム。


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