半導体用語集

ノズル レジストノズル

英語表記:nozzle

レジストや現像液を吐出する先端部分。ステンレスやフッ素樹脂でできている。用途によって、ぼた落ち防止、サックバック特性向上のため形状、内径、外径に種々の工夫がなされている。


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