半導体用語集
めん棒
英語表記：swabs
細部の清掃用に棒の先端に綿を丸めたものを取りつけた微小部分を拭く道具。綿以外にも粘着性のものなど、他の材料が使用される場合もある。クリーンルーム用として棒部分がプラスチック製、頭部がスポンジ製などのものがある。
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