半導体用語集
線接触型ポリシング装置
英語表記：linear contact polishing machine
工具となる平面状の研磨布面に対向させて被加工物面を加工する、いわゆる面接触型のポリシングに対して、線接触に近い状態で行うポリシング装置である。円筒状の回転体に研磨布を巻き付けたものを工具とする。この円筒状工具にウェーハを押し付け、そこに研磨剤（スラリー）を供給させながら相対運動させると、ウェーハを円筒工具の母線に接触しながらポリシすることができる。円筒工具に所定の押し付け力を与える機構、円筒工具ならびにウェーハの回転と揺動運動による機構などからなる。従来の面接触型ポリシング法は加工面が見えないブラインド・ポリシングであるのに対して、線接触ポリシング法は加工面を直接観察しながらポリシできるので加工中計測がやりやすく、また、加工局部をコントロールでき加工面に蓄熱するようなことが少ないなどの特徴があり、将来の加工方法として期待されている。
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