半導体用語集
ペニングイオン化電子分光
英語表記：Penning ionization spectroscopy
ペニング電子分光法はPenningイオン化過程で起こる電荷移行を用いて局所原子，分子の電子状態を調べる手法である。固体表面の局所分布する原子間結合状態の分析が可能である。当初，Penning電子分光法は気体の電離過程の一つとして研究され，光電子スペクトルと比較されながら分子の振動状態の分析に用いられていた。
Penningイオン化と呼ばれる過程について簡単に述べる。Penningイオン化とは励起状態にある原子または分子A*が別の原子または分子Bと衝突して，これをイオン化する過程である。
A*＋B→A+B⁺+e
ここでA*の励起エネルギーE(A*)がBのイオン化ポテンシャルIP(B)より大きいという条件がある。すなわちE(A*)
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