半導体用語集
エッチング均一性
英語表記：etching uniformity
被エッチング材料のェッチング速度(エッチングレート) のばらつきを示す。主にウェハ内における均一性のことを示すが、その他にウェハ間におけるばらつきがある。ウェハ内における均一性についてはウェハの中心を含むｎ個の測定点におけるエッチング速度から最大値、最小値、平均値または偏差を用いて次式のように求める。
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