半導体用語集
プリスパッタリング
英語表記：pre-sputtering
スパッタリング装置において、ウェーハに成膜する前、ターゲット表面の汚染層（自然酸化膜を含む）の除法、もしくはターゲット表面の安定化を目的として行われる予備スパッタリング。通常はシャッタを閉じた状態でスパッタする。
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