半導体用語集
磁気カップリング 回転導入
英語表記：magnetic coupled feedthrough
真空雰囲気内への回転導入において、N局S局の磁気結合力を伝達する機構。非接触回転であること、多くの場合真空と大気との間に隔壁を有する構造であるため、真空シール寿命は無限大であり、超高真空性能の維持等に有効である。
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