半導体用語集
面粗さ
英語表記：surface roughness
物質表面の凹凸など面状態を表すことであり、表現方法または定義方法はJIS B 0601にて定義されている。解析項目として、パラメーター、評価曲線、表面特性グラフの3つに集約されている。計測方法としては、触針式粗さ計、光学式粗さ計、光学式膜厚測定器、AFM（原子間力顕微鏡）、SEM（電子顕微鏡）などに、データ出力パラメータが用意されている。
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