半導体用語集
インゴット端面形状測定装置
英語表記：ingot end face bow measuring system
切断機において（特にIDソー）、切断されたインゴット端面の形状を測定する装置。薄板に切断した半導体材料は、その表裏の加工歪差のため、形状が変化し、形状判断が難しい。インゴット端面は、切断軌跡が残っており、形状判断が可能である。
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