半導体用語集
ウェハ冷却機構
英語表記：wafer cooling structure
プロセスにおいて、ウェハの温度を場所によらず一定に保つことは、重要な技術である。ウェハを保持する機構としては、メカニカルクランプあるいは静電チャックが使用される。それぞれの試料台は、内部に溶媒が循環した構造になっている。メカニカルクランプは、ある曲率を持った下部電極にウェハを載せ、ウェハ外周部をクランプリングで機械的に押え込む方法である。静電チャックは、吸着力を利用し保持する機構である。どちらの方法も、熱交換効率をよくするためにHeが導入されることも多い。
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