半導体用語集
化学研磨
英語表記：chemical polishing
半導体製造用ガスの供給系に用いられるステンレス製部品の接ガス面に施される研磨。内面を化学薬品の腐食作用により、仕上げたもの。微粒子の発生は極めて少ない。
関連製品
「化学研磨」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「化学研磨」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
