半導体用語集
クロスコンタミネーション
英語表記：cross contamination
ある目的の処理を行う際に、本来の目的以外の汚染を受けることをいう。例えば、CVD処理などを複数のチャンバーで行う場合、ある処理を行って、次のチャンバーへ移るときに、前のチャンバーで使っていたガスなどが、次のチャンバーに混入し、悪影響を及ぼすような汚染をいう。また、ウェット処理などでは、アルカリ系の薬液で処理した後、次に酸系の薬液で処理する場合など、アルカリの薬液が次の処理液に混入し汚染される場合などがある。このような場合の汚染をクロスコンタミネーションという。
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