半導体用語集
電子工業用薬品
英語表記：electronic chemicals
ウェーハ洗浄、エッチング、フォトリソ工程などのウエットプロセスに使用される高純度薬品の総称。半導体デバイスの歩留りに影響を与える金属不純物や微粒子を極度に少なくした薬品。
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