半導体用語集
薬品容器
英語表記:chemical container
電子工業用薬品を半導体製造工場に納入する時に使用される運搬用容器。同じ容器を繰返し使用するリンク方式と、毎回新しい容器を使用するワンウェイ方式があり、一般的には前者が多い。材質としては、溶剤系薬品にはガラスやステンレス銅、酸・アルカリ系薬品にはポリエチレン、PFA、PTEE(ポリテトラフロロエチレン)などが使用されている。
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