半導体用語集
サービスエリア
英語表記：service area
半導体製造装置本体が設置されている区域。装置に供給される電気、ガス、水、薬品など、また排水、排気などの配管、ダクト類も設置されるバックアップエリアでもあり、またメンテナンスを行う作業エリアでもある。ウェーハがこの領域の空気に直接触れることはないため、比較的低清浄度に設定される。
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