半導体用語集
ワープ
英語表記：warp
吸着固定しない状態のウェーハにおいて指定された基準面よりウェーハ中心面の距離の最大値と最小値の差。ASTM F 1390では、基準面は中心面のベストフィット面で定義され、ウェーハの自重によるたわみ成分を補正したものである。ASTM F 657で定義され、ウェーハの自重によるたわみ成分は補正されない状態のものである。
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