半導体用語集

ファンデアポー法

英語表記:Van der Pauw method

電極a→b間に電流Iabを流したときの電極c→d間の電圧Vcd、またb→c間に電流Ibcを流したときの電極d→a間の電圧Vdaを測定し、抵抗率(ρ)、移動度(μ)を計算して求める方法。ホール効果および比抵抗測定法の一種で、試料形状を問わない測定方法。 


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