半導体用語集
IPA蒸気乾燥
英語表記：IPA vapor drying
イソプロピルアルコール（IPA）の加熱蒸気中にウェーハを入れて、凝縮IPAで付着水を置換しながら、ウェーハを蒸気温度まで昇温させて乾燥する方法。
関連製品
「IPA蒸気乾燥」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「IPA蒸気乾燥」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
