メカニカルスキャン（mechanical scan） | 半導体用語集 |半導体/MEMS/ディスプレイのWEBEXHIBITION（WEB展示会）による製品・サービスのマッチングサービス SEMI-NET（セミネット）

英語表記：mechanical scan

イオンビームを固定して、ウェーハを複数枚装填したディスクをX、Y方向に機械走査して注入均一性を得る走査方式。回転ディスクを、上下ないし左右に並進運動させるのが一般的。