半導体用語集
超純水用帯電防止器
英語表記：antistatic charge equipment for ultrapure water
超純水は、高抵抗であるため、流動や摩擦により帯電し、これによりウェーハ面上への粒子付着や回路の破壊が起こる。これを防ぐために超純水中に二酸化炭素などを注入して、低効率を1MΩ･cm前後に下げる装置。ダイシング工程など超純水を噴射して使用する工程で用いられる。
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