半導体用語集
EDTA
英語表記：ethylendiamin tetra acetic acid
エチレンジアミン4酢酸を、略してEDTAと呼ぶ。EDTAは多くの金属ときわめて安定な金属キレート化合物をつくる。キレート化合物とは、2個以上の配位原子を持つ配位子が環を形成して中心金属に結合した錯体のことである。EDTAはキレート化合物として、よく知られている物質であり、半導体分野においても、洗浄液や研磨材に添加し、金属付着を抑制する方法として使われている。
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