半導体用語集
レーザホモジナイザ
英語表記：laser homogenizer
エキシマレーザなどのガウシアン分布のビームプロファイルを広範囲にわたり均一なビーム強度分布にする光学装置。光学ズーム式により任意の矩形の均一ビームが得られるのでレーザアニール装置などに組み込まれる。
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