半導体用語集
標準粒子発生器
英語表記：standard particle generator
パーティクルカウンタの校正を行うために、所定の粒径の粒子を一定量発生させる装置。ガス分野では、通常粒径分布が明らかなポリスチレンラテックスを溶媒中に分散させ、キャリヤガスを流すことによって、微粒子を単分散で発生させる。
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