半導体用語集
二酸化炭素消火設備
英語表記：carbon dioxide fire extinguishing system
液化二酸化炭素が放出されガス化する時の冷却作用および酸素濃度低下による窒息作用により消火する設備。移動式と固定式がある。さらに固定式には全域およぴ局所放出方式がある。電気火災、油火災に有効である。窒息の危険が伴うが、クリーンルームヘの汚染が少ないという長所がある。
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