半導体用語集
SDI FI
英語表記：silt density index fouling index
供給水の微量な濁質を定量化する指標でRO装置などの維持管理指標として重要。測定方法、計算式を以下に示す。直径47mm、孔径0.45µmのメンブレンフィルタを用いて、試料水を0.21MPaの加圧下でろ過する時に、初期500㎖をろ過する時に、初期500㎖をろ過するのに要した時間（To）を測定し、さらに同じ状態で15分間継続してろ過した後に500㎖をろ過するのに要した時間（T1）を測定し、次式で求められる値で示す。即ち1分間当たりのメンブレンフィルタの閉塞率を％で表示することになる。濁質の量が多く15分間ろ過を継続できないような場合にはToからTIまでの時間を5～15分の任意の時間（ｔ分）に設定し測定することもある。15分継続せずｔ分間とした場合には15の代わりにｔで割る。
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