半導体用語集
エッチング選択比 エッチング選択制
英語表記:etch selectivity
被エッチング材料のエッチング量と、エッチングマスク材料及び下地材料のエッチング量との比。 エッチング選択比=α/b
α:被エッチング材料のエッチング量
b:エッチングマスク材料及び下地材料のエッチング量
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