半導体用語集
走査透過型電子顕微鏡 STEM
英語表記：scanning transmission electron microscope
薄切した資料を透過するきわめて細い電子ビームで捜査を行い、検出装置がつくり出す像の明るさを、試料の原子番号又は結晶構造の変化を利用して、画像化する電子顕微鏡。
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