半導体用語集
ラマン分光法 Raman
英語表記：Raman spectroscopy
物質に光を照射すると、振動する原子やイオンによって非弾性散乱が起こり、そのスペクトル分光により、有機および無機物質を同定する手法。励起光としてのレーザは集光しやすいため、顕微測光が可能であり、微小異物の解析に有効である。
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