半導体用語集
ウェーハツイスト
英語表記:wafer twist
ウェーハをプラテンに置いたときのウェーハの主オリエンテーションフラットまたはノッチを、基準位置から、その面中心を軸として一定角度回転させること。その角度をツイスト角(twist angle)という。
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