半導体用語集

ウェーハツイスト

英語表記:wafer twist

ウェーハをプラテンに置いたときのウェーハの主オリエンテーションフラットまたはノッチを、基準位置から、その面中心を軸として一定角度回転させること。その角度をツイスト角(twist angle)という。


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