半導体用語集
クリーンベンチ 清浄作業台
英語表記：clean bench clean work station
規定された清浄度レベルに管理された空気が、作業対象物に対して直接に流れるように作ってある作業台。作業台はULPAフィルタ、プレフィルタ、送風機などの清浄空気供給源を内蔵している。
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