半導体用語集
冷却水設備
英語表記：condensing waste system cooling water system
冷却塔、熱交換器、送水ポンプ、配管設備などから構成され、半導体製造装置、空気、水などを冷却水を用いて冷却する設備。密閉循環式、開放循環式、一過式などの送水方式がある。
関連製品
「冷却水設備」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「冷却水設備」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
