半導体用語集
解放循環式冷却水設備
英語表記：open circuit condensing water system open circuit cooling water system
冷却塔または熱交換器により冷やされた冷却水を送水ポンプで半導体製造装置などの冷却すべき対象物に送り、冷却後は受水槽に開放し、環水ポンプにて戻す送水方式の冷却水設備。冷却すべき対象物に背圧が加わらず、系の最高圧力も低くなる。
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