半導体用語集
チューブコントローラ
英語表記：tube controller
酸化、拡散、CVD装置で石英又はSiCの反応管を使用してプロセス処理を行う装置において、各反応管毎に処理プロセスが異なることもあり得るので、温度、圧力、ガスの種類及びガス流量、時間の制御をチューブ毎に個別に行うためのコントローラ。
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